试管婴儿|珩磨管|试验箱
全部产品
  • 恒温恒湿试验箱,高低温交变湿热试验箱
    落地型_高低温交变湿热试验箱
    温度:-40~150C,湿度:25~95%
    温度:-40~150C,湿度:20~95%
    温度:-70~150C,湿度:25~95%
    台式_高低温湿热试验箱
    温度:0~120C,湿度:30~95%
    温度:-20~150C,湿度:20~95%
    温度:-40~150C,湿度:20~95%
    经济型_恒温恒湿试验箱
    药品稳定性恒温恒湿箱
    药品稳定性试验箱
    综合药品稳定性试验箱
    两箱一体型恒温恒湿箱
  • 高低温试验箱,高低温交变试验机
    落地型_高低温交变试验箱
    温度:-5~100C
    温度:-25~100C
    温度:-35~180C
    温度:-70~180C
    落地型_高温试验机
    温度:室温+45~250C
    温度:室温+45~350C
    桌上型_高低温试验箱
    温度:-20~120C
    温度:-40~150C
    经济型_恒温试验箱
    温度:-20~100C
    温度:0~100C
  • 干燥箱,实验室烘箱
    真空型干燥箱
    强制对流型干燥箱
    通用型干燥箱
    编程型干燥箱
    经济型干燥箱
    大体积型干燥箱
    4/2箱一体型干燥箱
    自然对流型干燥箱
    通用型干燥箱
    经济型干燥箱
    洁净型干燥箱,干热式灭菌器
    通用型洁净烘箱
    编程型洁净烘箱
  • 马弗炉,高温炉,电炉
    箱式马弗炉
    1100℃_通用型
    1100℃_程控型
    1500℃_通用型
    1500℃_程控型
    1340℃(不耐腐蚀型)
    1100℃(经济耐腐蚀型)
    1200℃(通用耐腐蚀型)
    1200℃(强耐腐蚀型)
    井式电炉
    1200℃
    管式高温炉
    1300℃
    灰化炉
    1200℃(可换气)
  • 恒温培养箱,生化培养箱
    恒温摇床,振荡培养箱
    桌上型温控摇床
    落地型恒温摇床培养箱
    3层叠加型恒温培养摇床
    箱体式2层叠加型恒温振荡培养箱
    加热型培养箱
    通用型培养箱
    经济型培养箱
    2/4箱一体型培养箱
    加热制冷型培养箱
    强制对流型培养箱
    气套型培养箱
    2/4箱一体型培养箱
    半导体制冷型培养箱
    恒温恒湿光照培养箱,植物生长箱
    湿度控制型光照培养箱
    无湿度控制型光照培养箱
    CO2培养箱,二氧化碳培养箱
    迷你型培养箱
    分子杂交仪,杂交箱,杂交炉
  • 低温保存箱|冷藏箱
    实验室冷藏箱
    过滤式冷藏箱
    低温保存箱
    -15~0℃_FHG系列
    -25~-15℃_FMG系列
    -35~-25℃_FCG系列
    -50~-30℃_FDG系列
    血液冷藏箱
    血浆低温保存箱
    药品冷藏箱
  • 恒温水浴锅,循环恒温槽
    加热制冷循环浴槽
    通用型加热制冷循环浴槽
    可编程加热制冷循环浴槽
    加热循环浴槽
    通用型加热循环浴槽
    可编程加热循环浴槽
    电热恒温水浴锅
    高端型电热水浴锅
    通用型恒温水浴锅
    双槽型水浴锅
    经济型水浴锅
    水浴恒温振荡器
    透视恒温水浴锅,玻璃毛细管水浴,粘度计水槽
    冷阱,冷凝捕集器
  • 超声波清洗机
    超声波清洗机
    经济型-超声波清洗机
    通用性-超声波清洗机
    高端型-超声波清洗机
    超声波移液管清洗机
  • 小型冷水机/冷却水循环器
    通用型:3~40℃
    常压
    高压
    低温型:-20~40℃
    常压
    高压
    超高压
    低温高端型:-20~40℃
    高压
    超高压
    高低温型:-20~80℃
    高压
    超高压
    紧凑型:-10~30℃
  • 摇床,振荡器,混匀仪
    实验室摇床,振荡器
    中型尺寸空气摇床
    大型尺寸实验室振荡器
    编程型实验室摇床
    迷你型实验室摇床
    涡旋振荡器,漩涡混合器
    高端型涡旋振荡器
    通用型漩涡混合器
    经济型涡旋振荡器
    微孔板振荡器
    分液漏斗振荡器,萃取净化振荡器
    旋转式混匀仪,翻转混匀器
    滚轴混匀仪
    三维混匀仪
    摇摆式混匀仪
  • 磁力搅拌器,加热板,顶置式搅拌机
    加热磁力搅拌器
    高端型
    经济型
    多点位型
    顶置式搅拌器
    数显型
    经济型
    磁力搅拌机
    经济型
    数显型
    多点位型
    电热板
  • 恒温金属浴,干浴器
    加热型金属浴
    加热制冷型干浴器
    恒温振荡金属浴
  • 电泳系统
    电泳槽电源
    电泳槽
  • 差分细胞计数器
  • 安全储藏柜
    防火安全柜
    EN 14470-1_90分钟
    EN 14470-1_60分钟
    EN 14470-1_30分钟
    废液收集系统
    过滤式储藏柜,药品储藏柜
    防酸/腐蚀储藏柜
  • 超净工作台/通风柜
    超净工作台
    高端型超净工作台
    经济型超净工作台
    无管道通风柜
    移动式万向抽风罩
    臂式集气罩
    台式迷你通风柜
    PCR工作台
    紫外灭菌柜,UV灭菌箱
  • 真空干燥器,防潮箱
    真空型干燥器
    非真空型干燥器
    电子防潮柜
  • 真空泵
    水流抽气泵,真空泵
    旋片式真空泵,油泵
  • 灭菌器,高压蒸汽灭菌锅
    畅销款高压蒸汽灭菌锅
    立式通用型灭菌锅
    立式高端型灭菌锅
    台式灭菌锅
    卧式灭菌锅
  • 塑料制品耗材&其他
    液体处理
    存储
    连接
  • 冷热冲击试验箱
  • 盐雾腐蚀试验箱
  • 安全防护用品
    手部防护
    乳胶手套
    丁腈手套
    PVC手套
    CPE手套
    面部防护
    耳挂口罩
    绷带口罩
    N95口罩
    其它
    身体防护
    实验室用服
    隔离服
    防尘服
    无纺布鞋帽
产品技术咨询
 联系方式
客服热线:021-31007903
邮箱:info@chen-hui.com

半导体材料分析测试仪器 | 半导体前后道量检测仪器 - 为中国半导体行业前行护航

来源:上海沉汇仪器有限公司作者:沉汇网址:http://www.chen-hui.com浏览数:129 

各类科学仪器设备是半导体产业的必备工具,半导体制造和封装测试环节需要上百种仪器设备。以一座投资规模为15亿元美金的晶圆厂为例,晶圆厂70%的投资用于购买设备(约10亿元美金),设备中的70%是晶圆制造设备,封装设备和测试设备占比约为15%10%沉汇仪器对电子测量仪器之外的仪器类型进行了简单的梳理(见表1,2)。现在,华为被美国列入管制“实体名单”;华为现在使用的相关美国产仪器设备是否被涉及?未来,中国的半导体产业所需的仪器设备,是否也会和美国仪器“脱钩”?为保障半导体产业顺利运行,试问非美国的仪器企业能做到吗?光谱、色谱、天平、硬度计等不少仪器,在国内拥有优秀的供应商;在电子显微镜、热分析仪器等方面,除了美国之外,也有丰富的仪器供应商。肯定的答案值得期待。

96fd6c5aa6f48bd6e601d11a2ab5d07ad39a28c7.jpg

表1 半导体材料分析测试仪器

硅片

原子力显微镜、X射线衍射仪、电子衍射法ED(反射高能电子衍射RHEED、低能电子衍射LEED)、透射电子显微镜、扫描电子显微镜、X射线能量色散谱EDS、显微激光拉曼光谱仪、角分辨光电子能谱ARPES、电学性能表征、光致发光PL、电化学工作站、傅里叶变换红外光谱仪、拉曼光谱仪、离子色谱仪、电子探针分析仪、热重分析仪、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱、台阶仪、透射光谱(紫外-可见光-近红外分光光度计、双光束紫外可见分光光度计)、荧光光谱、扫描探针显微镜、特斯拉仪

光刻胶

原子力显微镜、紫外光谱仪、红外光谱仪、核磁共振仪、扫描电镜、差示扫描量热仪、热重分析仪、元素分析仪、液质联用LC-MS、纳米压痕仪、台阶仪

电子气体

气体转子流量计、马弗炉、气相色谱、微水测定仪;天平、烘箱pH计、水浴锅

超净高纯试剂

气相色谱、等离子质谱ICP-MS、离子交换色谱法;显微镜法、库尔特法、光阻挡法、激光光散射法;发射光谱法、原子吸收分光光度法、火焰发射光谱法、石墨炉原子吸收光谱法、等离子发射光谱法、电感耦合等离子质谱法ICP-MS

溅射靶材

金相分析、扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、ICP-MS、辉光放电质谱法GDMS、四探针电阻仪、热重分析仪、激光粒度仪、数字源表、台阶测试仪

抛光材料

扫描电镜、透射电镜、原子力显微镜、俄歇电子能谱仪、纳米力学测试仪、X射线光电子能谱仪、摩擦力显微镜、扫描探针显微镜、粒度分析仪;扫描探针、X射线形貌仪、离子质谱仪、衍射分析技术、激光拉曼光谱仪、台阶仪、表面测试仪;三维表面轮廓仪(白光干涉仪)、粗糙度仪、精密测厚仪、金相显微镜

引线框架

数字式微欧计、显微硬度计、电子拉伸机、金相显微镜、透射电镜、扫描电镜、能谱分析仪、万能试验机

封装基板

流变仪、热重分析仪、差示扫描量热仪、热机械分析仪、动态热机械分析仪、万能试验机;X射线衍射仪、扫描电镜、四探针测试仪、自制膜层结合强度测试仪

键合丝

扫描电镜、X射线能谱仪EDSX射线衍射仪、直流双臂电阻电桥、万能试验机、显微硬度计、金相显微镜、键合点拉力试验所用检测设备

包封材料

同步热分析仪、X射线衍射仪、红外光谱仪、透射电镜、紫外-可见分光光度计、试验机、元素分析仪、扫描电镜、能量散射光谱仪SEM-EDS、高温热机械分析仪、荧光光度计

芯片粘接材料

原子力显微镜、X射线光电子能谱、万能试验机、显微镜、扫描电镜、透射电镜、动态热机械分析仪、X射线衍射仪、热重分析仪

表2 半导体前后道量检测仪器

前道量检测仪器

薄膜厚度量测(四探针、椭偏仪)、膜应力量测(扫描电子显微镜、原子力显微镜)、掺杂浓度量测(热波系统法)、关键尺寸(扫描电子显微镜)、套准精度(相干探测显微镜)、表面缺陷检测(光学显微镜、明暗场检测、扫描电子显微镜)

后道检测设备

CPCircuit Probing,电路测试)测试设备:测试台、探针台;FTFinal Test,终测)测试设备:测试台、分选机