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产品详情
显影机_Spin-4000A
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显影机_Spin-4000A

型号: Spin-4000A
品牌: Midas
参数: 真空吸盘:阳极氧化铝
用途: 用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用
技术参数
性能特点
可选配件
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型号Spin-3000ASpin-4000A
基底尺寸
最大8英寸基地
最大12英寸基地
旋转速度100-8000rpm,±0.1300-8000rpm,±1
碗的大小12英寸/SUS15英寸/SUS
发动机/车身AC伺服器/SUS 机身AC伺服器/SUS 机身
真空吸盘阳极氧化铝阳极氧化铝
自旋状态10种食谱*50步(数字可编程)20级*20级(数字可编程)
卡盘材料阳极氧化铝、缩醛阳极氧化铝、缩醛
碗材料不锈钢不锈钢


具体介绍:

匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,既在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。匀胶机可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蚀中也被广泛使用。

由我司提供的匀胶机,在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉,相信能满足您多种不同应用要求。


过程结果:

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